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華潤(rùn)微電子超純水項(xiàng)目

華潤(rùn)微電子有限公司是華潤(rùn)集團(tuán)旗下負(fù)責(zé)微電子業(yè)務(wù)投資、發(fā)展和經(jīng)營(yíng)管理的高科技企業(yè),亦是中國(guó)本土規(guī)模和影響力大的綜合性微電子企業(yè)之一。公司業(yè)務(wù)包括集成電路設(shè)計(jì)、掩模制造、晶圓制造、封裝測(cè)試及分立器件。

自2014年起,公司相繼與無(wú)錫華潤(rùn)微電子有限公司及其旗下無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司合作,其中合作的8英寸0.25微米以下集成電路芯片超純水項(xiàng)目,是國(guó)內(nèi)首套應(yīng)用全膜法工藝的8英寸晶圓用超純水系統(tǒng),整合了多介質(zhì)過(guò)濾、膜脫氣、超濾(UF)、反滲透(RO)、電去離子(EDI)、PMB等核心工藝技術(shù),有效確保了客戶(hù)生產(chǎn)線(xiàn)對(duì)超高純度水的穩(wěn)定供應(yīng)。